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　半導体の製造に欠かせない「フッ化水素」。政府が韓国向けの輸出規制を強化した物質で、ほとんどの金属を溶かす。超高純度のものは大阪の２社が市場を独占してきたが、韓国も国産化に向けて動き出した。日本の優位は保てるのか――。

　フッ化水素とはどんな物質なのか。東京・豊洲の芝浦工業大学を訪ねると、田嶋稔樹教授（フッ素化学）が「ふっ化水素酸」とラベルが貼られた樹脂製の容器を見せてくれた。強烈な酸性で、皮膚につくだけでも体内に取り込まれ、成人男性なら１～２グラム摂取するだけで死んでしまうという。「実験で使うときは手袋を３重にし、フタを開けるときは専用マスクもします」

　この物質が半導体の製造に使われるのは、ほぼすべての金属を溶かす特性を持つからだ。半導体はシリコン製の基板に金属などの薄い膜を塗り重ねてつくる。例えば、不要な部分をレーザーで焼き付けてフッ化水素をかけて取り除くと、回路が浮かび上がってくる。

　最先端の半導体は回路幅が１…